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SRP 測(cè)試系統(tǒng)，采用擴(kuò)展電阻率技術(shù)(SRP)，對(duì)載流子濃度和電阻率隨深度的變化做快速測(cè)試。

準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)-光致發(fā)光可以將QSS準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)少子壽命測(cè)試和PL光致發(fā)光技術(shù)相結(jié)合，快速獲得樣品的少子壽命分布圖譜信息。

光致發(fā)光主要對(duì)材料能帶結(jié)構(gòu)，雜質(zhì)濃度和缺陷，組分機(jī)理以及材料質(zhì)量進(jìn)行檢測(cè)。 WT-2000PL專門針對(duì)PL應(yīng)用開(kāi)發(fā)，具有非接觸，快速，可變溫，光斑等特點(diǎn)。

Semilab PV-2000A是業(yè)界功能最（zui）先進(jìn)的，用于晶硅太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)及光伏工藝研發(fā)的非接觸電學(xué)表征系統(tǒng),以滿足硅片到成品電池片不同工藝控制的測(cè)試需求。

LEI Model2017B，通過(guò)汞探針接觸方法，對(duì)各類半導(dǎo)體材料的載流子濃度分布進(jìn)行測(cè)試，特別適合GaN.SiC等化合物材料。

汞CV測(cè)試系統(tǒng)，用于對(duì)外延或前道工藝中的non-pattemed晶片做汞C-V測(cè)試; MCV-530L可測(cè)最大200mm的樣品。